真空泵按工作原理分類
發(fā)布時間：2017年05月18日 10:43 閱讀：5760
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真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作壓強，可分為低真空泵、高真空泵和超高真空泵；按其工作原理，大致可分為下面兩大類：
1.壓縮型真空泵。也稱為排除型真空泵。其原理是將氣體由泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。例如，利用膨脹一壓縮作用的旋轉(zhuǎn)式機械真空泵、滑閥泵、羅茨泵等；利用氣體黏滯牽引作用的蒸汽流噴射泵；利用氣體擴(kuò)散作用的蒸汽流擴(kuò)散泵；利用分子牽引作用的分子泵等。
2.吸附型真空泵。也稱俘獲型真空泵。其原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低氣體壓強的目的。例如，利用電離吸氣作用的離子泵；利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、低溫冷凝泵和吸氣劑泵等。在這類泵中，氣體分子并不排出泵外，而是被永久儲存或暫時儲存于泵內(nèi)。
任何真空泵，在其工作時除了抽氣因素外，總是存在著與抽氣相矛盾的因素。例如，氣體經(jīng)壓縮后的反擴(kuò)散、氣體分子從表面的脫附等，這些現(xiàn)象稱為真空泵的返流。只有在抽氣作用強于返流時，泵才能有效地工作。因此，每種泵都有自己的有效運用壓強范圍及固有特點。設(shè)計、制造及運用各種真空泵都是以加強抽氣作用、抑制返流為目的的。
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